潔凈室的建筑裝修原則是應用材料不產塵、表面光滑易清潔、縫隙密閉不積塵。潔凈室的門不應設置門檻,非必要的凹凸面會使潔凈室的清潔工作事倍功半 。圖 1 a 中的門檻因接近地面,沉降的大顆粒塵埃易沉積在門檻上,隨人員流動而被夾帶擴散;圖 1 b 中的遮光罩因處于空間高位,懸浮的小顆粒塵埃易沉積在罩面上,因送風口產生的湍流而被觸動擴散。不易察覺、不易清除的塵埃是影響潔凈度的潛在危險源。
保證潔凈室不受塵埃微粒影響的核心技術是通風系統中的空氣凈化過濾功能。空氣過濾器是創造潔凈環境的核心設備,粗效過濾器可濾除 10 μm 以上的顆粒物,中效過濾器可濾除 1 ~ 10 μm 的顆粒物,高效過濾器可濾除≥ 0.3 μm 的顆粒物 。安裝在通風管道末端的高效過濾器作為潔凈室內的最后一道屏障,可視為核心技術,其安裝完整性決定了潔凈室的潔凈度,根據氣溶膠光度計法測試,不僅要求過濾器的送風面透過率≤ 0.01%,而且對安裝邊框的密閉性的評價標準也應≤ 0.01% [5] ,該要求表明,送風管道內的氣流不應有未經過濾的部分進入潔凈室,氣流進入潔凈室前必須經過有效過濾。在非單向流潔凈室內的多個末端,高效過濾器的完整性應100% 確認,任一過濾器的泄漏均可能影響潔凈室的潔凈度。