通風、空氣凈化系統是潔凈室眾多系統中安全工作比較繁重的系統之一,同時也是保障潔凈室環境清潔的重要系統,系統中的空氣濾網需要定時清潔和更換 。潔凈室內為實驗室空間,不可避免會產生實驗廢氣、大氣灰塵等,這些廢氣、灰塵需要及時地排出潔凈室外,讓室外清新的空氣能夠與室內的空氣產生交換,這就需要通風循環系統。而同時潔凈實驗室內的空氣在內循環機制下需要對室內空氣進行過濾清潔,保障室內空氣的潔凈度在規定的范圍內。
電力系統潔凈室內存放著眾多的精密電子設備,很多是國外進口,不僅價格昂貴,而且有著特殊的使用和管理要求;潔凈室電力系統的安全考量不僅要保障安全用電,還有其他的要求;常見潔凈室電力系統安全注意事項見表 3。